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真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。
真空柱是一个密封的柱形容器。
真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室,用于放置样品。之所以要用真空,主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以除了在使用扫描电镜时需要用真空以外,平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。
为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成象的电子更多。
电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象,但习惯上,仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。
有些探测器造价昂贵,比如Robinsons式背散射电子探测器,这时,可以使用次级电子探测器代替,但需要设定一个偏压电场以筛除次级电子
长度类: 卡尺、千分尺、钢直尺、卷尺、角度尺、百分表、量块、平台、膜厚计、计码器、高度规、针规、环规、塞尺、划格刀、半径规、真圆度仪、粗糙度计、轮廓测试仪、…….
热工类: 恒温恒湿箱、温湿度计、温湿度记录仪、盐雾试验机、烤箱、高低温试验箱、冷热冲击试验机、玻璃温度计、红外线温度计、低温箱、炉温测试仪、多点采集器、耐黄变试验机、烙铁温度计、温度巡回检测仪、熔融指数测试仪、加热变形试验机、恒温水槽、环境试验箱、耐候试验机、灼热丝试验机…….
力学类: 拉力试验机、推拉力计、扭力批、测力仪、扭力扳手、砝码、压力表、电子称、地磅、硬度计、电子天平、冲击试验机、破裂强度试验机、鞋子剥离强度试验机、DIN磨耗试验机、…….
流量计主要有以下几种分类:
1.容积式流量计:利用固定的体积对流体流量进行累加计量的测量原理。例如椭圆齿轮流量计、腰轮流量计、活塞式流量计、刮板式流量计等。2.
差压式流量计:利用流体静压差与流过流体的流量有一定函数关系,通过测量静压差求得流量的测量原理。例如节流式流量计、均速管流量计等。
3.流体阻力式流量计:利用流体流动时给导管中的阻力体以作用力,而作用力的大小和流量大小有关的测量原理。例如转子流量计、浮子流量计、靶式流量计等。
4.速度式流量计:利用流体速度与流量成正比的丽数关系,通过测量速度而求得流量的测量原理。例如涡轮流量计、电磁流量计、超声波流量计等。
5.质量流量计:能够直接测量流体的质量流量,测量度高。例如科里奥利质量流量计、热式气体质量流量计等。
以上各种流量计的测量原理主要是基于力学、电学、声学、热学、光学和原子物理等原理。例如,力学原理的流量计有利用伯努利定理的差压式、转子式;利用动量定理的冲量式、可动管式;利用牛顿第二定律的直接质量式;利用流体动量原理的靶式;利用角动量定理的涡轮式;利用流体振荡原理的旋涡式、涡街式;利用总静压力差的皮托管式以及容积式和堰、槽式等等。电学原理的流量计有电磁式、差动电容式、电感式、应变电阻式等。声学原理的流量计有超声波式.声学式(冲击波式)等。热学原理的流量计有热量式、直接量热式、间接量热式等。光学原理的流量计有激光式、光电式等。原子物理原理的流量计有核磁共振式、核辐射式等。其它原理的流量计有标记原理(示踪原理)、相关原理等。
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